扫描电子显微镜（SEM）分类
扫描电子显微镜（SEM）有多种分类方式，具体如下：
1、按电子枪种类分类
（1）钨丝枪扫描电镜：使用热钨极电子枪，阴极为能加热的钨丝。优点是结构简单、成本较低、适用性强、维护费用低；缺点是亮度有限，束斑直径较大，分辨率相对较低，一般为6nm左右。
（2）六硼化镧扫描电镜：用六硼化镧阴极替代钨丝阴极。其亮度比热钨丝阴极电子枪高一个数量级，可使分辨率提高到4-5nm，但需要相当复杂的附属设备，价格较贵，应用相对较少。
（3）场发射扫描电镜：主要靠加在阴极表面的电场发射电子，阴极为晶体钨。具有亮度高、分辨率高、寿命长、能实现快速扫描观察和记录等优点，分辨率已达到3nm甚至更高，还可在低加速电压下进行高分辨率观察，能直接观察绝缘体，但造价非常昂贵。
2、按样品室的真空度分类
（1）高真空扫描电镜：样品室需维持较高的真空度，一般在10⁻⁴ - 10⁻⁶ Torr之间，适用于观察不导电或导电性差的样品，可减少电子与气体分子的碰撞，提高图像质量。
（2）低真空扫描电镜：样品室真空度相对较低，可在10⁻² - 10⁻³ Torr范围工作，允许样品在较低真空条件下观察，对于一些不宜在高真空环境下观察的样品，如含水、含油样品等非常适用，可减少对样品的处理过程。
（3）环境扫描电镜：可在接近常压的环境下对样品进行观察，能够直接观察湿样、活的生物样品等，大大扩展了扫描电镜的应用范围。
3、按功能和应用分类
（1）常规扫描电镜：主要用于常规的样品表面形貌观察，能提供样品表面的微观结构信息，广泛应用于材料科学、生物学、地质学等多个领域。
（2）分析扫描电镜：在常规扫描电镜的基础上配备了X射线能谱仪（EDS）、波谱仪（WDS）等分析附件，可对样品微区的化学成分进行分析，实现形貌观察与成分分析的结合。
（3）生物用扫描电镜：备有冰冻冷热样品台，可把含水生物样品迅速冷冻并对冰冻样品进行观察，减少化学处理引起的人为变化，使观察样品更接近于自然状态，还可进行样品切开、冰升华、喷镀金属等操作，用于观察生物样品的内部结构。
此外，扫描电子显微镜还可按真空泵类型分为油扩散泵扫描电镜、分子泵扫描电镜；按自动化程度分为自动扫描电镜、手动扫描电镜；按操作方式分为旋钮操作扫描电镜、鼠标操作扫描电镜等。

其中钨丝枪扫描电镜是一种常用的扫描电子显微镜，能解决的问题：
1、材料科学领域
金属材料分析：可用于观察金属材料的晶粒结构、晶界形态，研究不同热处理状态下金属的微观结构变化，如分析淬火、回火等工艺对金属材料内部组织的影响，为优化金属材料的性能提供依据。
复合材料研究：能够分析复合材料中纤维和基体之间的结合界面状况，观察界面处是否存在缺陷、裂缝等，研究裂纹在复合材料中的扩展路径，从而评估复合材料的力学性能和失效机制。
2、生命科学领域
细胞形态观察：可以清晰观察细胞的表面形貌，如癌细胞与正常细胞在细胞膜形态、表面微绒毛等方面的差异，辅助癌症等疾病的诊断。
生物组织研究：对生物组织样品进行观察，了解组织中细胞的排列方式、细胞间的连接结构等，比如观察神经组织中神经元之间的连接情况，为神经科学研究提供形态学依据。
3、半导体工业领域
芯片质量检测：能检测芯片表面的缺陷，如划痕、孔洞、金属线的断裂或短路等问题，确保芯片的质量和性能。
工艺监控：在半导体制造工艺中，用于监控光刻、蚀刻等工艺步骤对芯片表面结构的影响，观察芯片表面的图案是否符合设计要求，及时发现工艺中的问题并进行调整。